氨化Ga2O3/Pd/Sapphire薄膜制备GaN纳米线
来源期刊:功能材料2010年第6期
论文作者:薛成山 郭永福 石锋 庄惠照 刘文军 曹玉萍 孙海波
文章页码:976 - 979
关键词:纳米线;GaN;磁控溅射;单晶;钯催化;
摘 要:利用金属元素钯作催化剂,采用磁控溅射后氨化法,成功的在Sapphire衬底上制备出GaN纳米线。X射线衍射和X射线光电子能谱研究显示合成的纳米线具有六方纤锌矿GaN结构。通过扫描电子显微镜,透射电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察分析得出GaN纳米线为单晶结构,其纳米线的直径约为10~60nm,长度达几十个微米。室温下以325nm波长的光激发样品表面,发现GaN带边发光峰有较弱的蓝移。最后简单讨论了GaN纳米线的生长机制。
薛成山,郭永福,石锋,庄惠照,刘文军,曹玉萍,孙海波
山东师范大学半导体研究所
摘 要:利用金属元素钯作催化剂,采用磁控溅射后氨化法,成功的在Sapphire衬底上制备出GaN纳米线。X射线衍射和X射线光电子能谱研究显示合成的纳米线具有六方纤锌矿GaN结构。通过扫描电子显微镜,透射电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察分析得出GaN纳米线为单晶结构,其纳米线的直径约为10~60nm,长度达几十个微米。室温下以325nm波长的光激发样品表面,发现GaN带边发光峰有较弱的蓝移。最后简单讨论了GaN纳米线的生长机制。
关键词:纳米线;GaN;磁控溅射;单晶;钯催化;