X射线反射法测量铋系超导薄膜的结构参数
来源期刊：理化检验物理分册2009年第6期
论文作者：贺彤 孙伟 金禹 祁阳 裴剑芬
文章页码：345 - 347
关键词：X射线反射法;薄膜;厚度;
摘 要：以铋系超导薄膜材料为例,应用X射线反射法测量薄膜材料的厚度以及粗糙度等结构参数,对测量方法的原理、衍射仪的调试和步骤等进行了详细的说明。这一方法为薄膜材料结构参数的测量提供了新途径。
贺彤1，孙伟1，金禹2，祁阳2，裴剑芬1
1. 东北大学研究院分析测试中心2. 东北大学理学院
摘 要：以铋系超导薄膜材料为例,应用X射线反射法测量薄膜材料的厚度以及粗糙度等结构参数,对测量方法的原理、衍射仪的调试和步骤等进行了详细的说明。这一方法为薄膜材料结构参数的测量提供了新途径。
关键词：X射线反射法;薄膜;厚度;
