贵金属粒子催化刻蚀制备硅太阳能电池减反射层研究进展
来源期刊：功能材料2010年第S1期
论文作者：耿学文 李美成
文章页码：6 - 29
关键词：贵金属粒子;催化剂;硅衬底;减反射层;
摘 要：贵金属纳米粒子催化性能的研究已成为当前新材料及能源科学研究领域的热点之一。最近,在用贵金属粒子作为催化剂,辅助刻蚀硅衬底制作太阳能电池减反射层方面开展了大量的研究工作。综述了近年来贵金属粒子催化刻蚀硅制备减反射层的研究进展,分析了贵金属粒子的催化机理和减反射层制作的影响因素,展望了贵金属粒子催化刻蚀薄膜太阳能电池硅衬底研究的发展趋势。
耿学文，李美成
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
摘 要：贵金属纳米粒子催化性能的研究已成为当前新材料及能源科学研究领域的热点之一。最近,在用贵金属粒子作为催化剂,辅助刻蚀硅衬底制作太阳能电池减反射层方面开展了大量的研究工作。综述了近年来贵金属粒子催化刻蚀硅制备减反射层的研究进展,分析了贵金属粒子的催化机理和减反射层制作的影响因素,展望了贵金属粒子催化刻蚀薄膜太阳能电池硅衬底研究的发展趋势。
关键词：贵金属粒子;催化剂;硅衬底;减反射层;
