真空退火处理对掺Cr类石墨碳膜力学和摩擦学性能的影响

时惠英¹，陈梓山¹，蒋百灵¹，张彬¹，张永宏¹

(1.西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;
2.陕西理工学院材料系,陕西,汉中,723003)

摘要:采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了掺Cr类石墨镀层,研究了真空退火温度对镀层的硬度、结合强度、摩擦系数和比磨损率的影响规律,通过X射线衍射(XRD)分析了镀层结构随退火温度的变化.结果表明:随退火温度的升高,镀层有新相生成,镀层的膜基结合强度降低,镀层硬度随温度的升高先增加后降低,退火温度为500℃时,镀层显微硬度最大;随退火温度的升高镀层摩擦系数呈现出先降低后升高的变化趋势,比磨损率逐渐增大.

关键词:类石墨镀层; 真空退火; 微观组织; 摩擦学性能; graphite-like carbon coating; vacuum annealing; microstructure; tribological property;

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