等离子体基高温离子注入研究进展
来源期刊:材料热处理学报2001年第3期
论文作者:夏立芳 陈继新 徐淑艳 孙跃 刘鑫贵
关键词:等离子体基离子注入; 升温; 扩散; 组织和性能;
摘 要:综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化.并对今后的发展趋势作了预测.
夏立芳1,陈继新1,徐淑艳1,孙跃1,刘鑫贵1
(1.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院)
摘要:综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化.并对今后的发展趋势作了预测.
关键词:等离子体基离子注入; 升温; 扩散; 组织和性能;
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