基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备

刘世元¹，史铁林¹，彭平¹，廖广兰¹，林晓辉¹，汤自荣¹

(1.华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉光电国家实验室,武汉,430074)

摘要:研究了一种新颖的微流管道血细胞计数器的结构及其工作原理,采用流体动力学对其液体分层流动特性进行了仿真分析,结合图形制备和低温直接键合工艺制作了硅基微流体管道血细胞计数器结构,并采用红外透射方法对微流体管道结构进行了检测.对封闭管道的流通性及结构的键合强度也进行了测量.研究分析表明,采用上述工艺制备的微流体芯片结构与电子器件兼容性好,具有良好的化学惰性和热稳定性,而且管道结构规则,精度高,键合界面层薄,具有较好的应用前景.

关键词:血细胞计数器; 微流管道; 低温直接键合;

【全文内容正在添加中】