热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO₂薄膜的影响

来源期刊：材料热处理学报2013年第8期

论文作者：任洋 赵高扬 李颖 章晨曦 高贇 刘灵军

文章页码：163 - 167

关键词：CuAlO2;薄膜;热处理;气氛;溶胶凝胶;

摘    要：采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响。结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程。固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250Ω.cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5%。