CVD金刚石膜的抛光研究进展
来源期刊:硬质合金2008年第3期
论文作者:马志斌 张磊 吴振辉 吴利峰 谭必松
关键词:CVD; 金刚石膜; 抛光;
摘 要:化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙,需要经过抛光才能实现其具体的工业应用.本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展,分析了各种技术的优缺点,并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望.
马志斌1,张磊1,吴振辉1,吴利峰1,谭必松1
(1.武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北,武汉,430073)
摘要:化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙,需要经过抛光才能实现其具体的工业应用.本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展,分析了各种技术的优缺点,并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望.
关键词:CVD; 金刚石膜; 抛光;
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