透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究
来源期刊：材料保护2005年第7期
论文作者：孙超 曹洪涛 陆峰 裴志亮 闻立时 徐成海
关键词：ZAO薄膜; 衬底; 直流磁控溅射; 性能; XRD衍射分析; 电阻率; 透射率;
摘 要：为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析.结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%.由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好.
孙超1，曹洪涛1，陆峰2，裴志亮1，闻立时1，徐成海3
(1.中国科学院金属研究所,辽宁,沈阳,110015;
2.沈阳建筑大学交通与机械工程学院,辽宁,沈阳,110168;
3.东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004)
摘要:为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析.结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%.由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好.
关键词:ZAO薄膜; 衬底; 直流磁控溅射; 性能; XRD衍射分析; 电阻率; 透射率;
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