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氮化硅薄膜的光致发光机制

来源期刊：材料导报2012年第19期

论文作者：何贤模徐明芦伟

文章页码：41 - 44

关键词：氮化硅薄膜;光致发光;机制;

摘要：SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质。同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释。总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制。

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何贤模^1,2，徐明¹，芦伟^1,2

1. 西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室2. 四川师范大学物理与电子工程学院固体物理研究所

关键词：氮化硅薄膜;光致发光;机制;