并五苯薄膜的AFM及XRD研究
来源期刊:功能材料2007年第5期
论文作者:张福甲 欧谷平 张旭辉 陶春兰 董茂军 张浩力 刘一阳
关键词:并五苯薄膜; 有机场效应晶体管(OFETs); AFM; XRD;
摘 要:报道了以热氧化硅片为衬底,用溶液溶解和真空蒸镀两种方法制备有机半导体材料并五苯薄膜.用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的形貌,用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的晶体结构,讨论了诸多因素对薄膜的影响以及两种方法制备的并五苯薄膜的相结构.
张福甲1,欧谷平1,张旭辉1,陶春兰1,董茂军1,张浩力2,刘一阳2
(1.兰州大学,物理科学与技术学院微电子研究所,甘肃,兰州,730000;
2.兰州大学,化学化工学院功能有机分子化学国家重点实验室,甘肃,兰州,730000)
摘要:报道了以热氧化硅片为衬底,用溶液溶解和真空蒸镀两种方法制备有机半导体材料并五苯薄膜.用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的形貌,用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的晶体结构,讨论了诸多因素对薄膜的影响以及两种方法制备的并五苯薄膜的相结构.
关键词:并五苯薄膜; 有机场效应晶体管(OFETs); AFM; XRD;
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