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铁电薄膜中的电畴研究进展

来源期刊：材料导报2004年第10期

论文作者：胡立业陈宏伟符春林王迎新杨传仁

关键词：电畴; 铁电薄膜; 临界尺寸; 表征方法;

摘要：铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

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胡立业¹，陈宏伟¹，符春林¹，王迎新¹，杨传仁¹

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054)

摘要:铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

关键词:电畴; 铁电薄膜; 临界尺寸; 表征方法;

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