氨处理时间对碱性SiO₂减反膜抗污染性能的影响（英文）

刘源^1,2，沈军¹，吴广明³，周斌¹，张志华¹

1. 同济大学 上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室2. 上海理工大学3. 同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室

摘 要：在室温下采用气相法对碱性SiO₂减反薄膜进行后处理,获得了疏水性能、激光损伤阈值均高于未经后处理的薄膜,其抗有机污染的性能明显优于普通的SiO₂减反薄膜。研究了气相硅烷化处理对薄膜在使用或储存环境下可能存在的有机污染物的抗性,并分析其机理。实验发现,经过后处理薄膜的抗污染性能与氨气氛处理时间的长短有直接关系。氨气氛处理时间少于24 h的薄膜相比于木经后处理的薄膜抗污染性能没有明显变化,而氨气氛处理时间超过72 h的薄膜其抗污染性能明显高于未经处理的薄膜。经氨气氛处理72 h后,再经六甲基二硅胺烷结合及热处理方式后处理的薄膜表现出对有机硅烷良好的抗污染性能,经正己烷饱和蒸气污染98 h后,样品的透射率没有发生明显改变。并且,处理后薄膜的激光损伤阈值也明显高于未处理薄膜。

关键词：溶胶-凝胶法;SiO₂减反薄膜;抗污染性;氨处理;