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硅纳米线的制备与生长机理

来源期刊：材料科学与工程学报2004年第6期

论文作者：唐元洪裴立宅

关键词：硅纳米线; 制备; 生长机理;

摘要：硅纳米线是一种新型的一维半导体光电材料.本文较系统地介绍了硅纳米线在制备技术、生长机理方面的研究现状与最新进展,主要就激光烧蚀法、化学气相沉积法、热气相沉积法及溶液法等制备方法和基于气-液-固机理的生长机理、氧化物辅助生长机理及固-液-固生长机理等作了较为详尽的论述.

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唐元洪¹，裴立宅¹

(1.湖南大学,材料科学与工程学院,湖南,长沙,410082)

摘要:硅纳米线是一种新型的一维半导体光电材料.本文较系统地介绍了硅纳米线在制备技术、生长机理方面的研究现状与最新进展,主要就激光烧蚀法、化学气相沉积法、热气相沉积法及溶液法等制备方法和基于气-液-固机理的生长机理、氧化物辅助生长机理及固-液-固生长机理等作了较为详尽的论述.

关键词:硅纳米线; 制备; 生长机理;

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