纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展
来源期刊：材料导报2010年第5期
论文作者：曹勇 杜如虚 钟占荣 马潇均
关键词：纳米薄膜; 界面滑移现象; 分子动力学; manometer thin films; interracial slip behavior; molecular dynamics;
摘 要：随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级.由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值.Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性.在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望.
曹勇1，杜如虚2，钟占荣2，马潇均2
(1.哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳,518055;
2.中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,中国科学院深圳先进技术研究院,深圳,518055)
摘要:随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级.由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值.Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性.在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望.
关键词:纳米薄膜; 界面滑移现象; 分子动力学; manometer thin films; interracial slip behavior; molecular dynamics;
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