(Ba,Sr)TiO3薄膜制备技术新进展
来源期刊：金属功能材料2009年第4期
论文作者：丁淑芳 单志强
关键词：(Ba,Sr)TiO; 铁电薄膜; 制备方法; (Ba; Sr) Ti3 ferroelectric thin film; preparation;
摘 要：(Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜材料是目前国际上新型功能材料研究的热点之一,本文综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺,并简要介绍了BST目前的研究进展、微观结构、性能及应用,深入分析了BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题.
丁淑芳1，单志强1
(1.黑龙江科技学院资源与环境学院,黑龙江,哈尔滨,150027)
摘要:(Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜材料是目前国际上新型功能材料研究的热点之一,本文综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺,并简要介绍了BST目前的研究进展、微观结构、性能及应用,深入分析了BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题.
关键词:(Ba,Sr)TiO; 铁电薄膜; 制备方法; (Ba; Sr) Ti3 ferroelectric thin film; preparation;
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