Sol-gel法制备LaNiO₃/Bi₄Ti₃O₁₂异质薄膜及性能研究

来源期刊：材料导报2010年第S1期

论文作者：黄建坡 贾建峰 刘永涛 胡行

文章页码：50 - 52

关键词：Bi₄Ti₃O₁₂薄膜;Sol-gel法;铁电性能;

摘    要：采用Sol-gel（溶胶-凝胶）法在Si衬底上制备LaNiO₃/Bi₄Ti₃O₁₂（LNO/BTO）叠层薄膜,并研究了不同退火温度下BTO薄膜的生长行为和铁电、介电性能。试验表明,与单晶Si直接作衬底制备的Bi₄Ti₃O₁₂薄膜相比,引入过渡层LNO降低了Bi₄Ti₃O₁₂薄膜与衬底的晶格失配度,减少了热应力和外应力,缓解了薄膜龟裂的现象,而且制备出的Ag/BTO/LNO/Si异质薄膜电容具有优良的介电性质。