镀TiN和镀锌钢板的辉光放电原子发射光谱深度轮廓分析
来源期刊：冶金分析2007年第10期
论文作者：闫永胜 雷彩虹 黄卫红 李春香
关键词：深度轮廓分析; 辉光放电; 原子发射光谱; 镀TiN和镀锌钢板; depth profile; glow discharge atomic emission spectrometry; TiN and zinc coating steel sheet;
摘 要：金属或合金表面的导电或非导体镀层,对改善材料的性能,降低材料的损耗具有很大的作用.如在钢表面镀一层TiN,钢的抗磨损性能会得到提升.探讨各种元素在基体材料表面的分布和渗透行为,对新材料的研究具有十分重要的意义.本文运用直流辉光放电原子发射光谱对镀TiN和镀锌钢板进行了深度轮廓分析.放电电压、放电功率和压力对深度轮廓分析的影响进行了研究,在功率为24.5～28 W和500～1000 Pa放电压力下,可以得到每层4 μm TiN的深度分辨率,并且Ti的谱线强度相对较高.结果表明在相对较低的放电功率和压力下,深度分辩较好.在优化操作条件下,即放电电压700 V,放电电流35～40 mA,Ar压力553 Pa,可以得到Ti的深度轮廓信息,在总深度为60 μm的镀层中,以4 μm的深度分辨率,Ti的含量从28%降低到0.02%.
闫永胜1，雷彩虹2，黄卫红1，李春香1
(1.江苏大学化学化工学院,江苏镇江,212013;
2.杭州广播电视大学,浙江杭州,310012)
摘要:金属或合金表面的导电或非导体镀层,对改善材料的性能,降低材料的损耗具有很大的作用.如在钢表面镀一层TiN,钢的抗磨损性能会得到提升.探讨各种元素在基体材料表面的分布和渗透行为,对新材料的研究具有十分重要的意义.本文运用直流辉光放电原子发射光谱对镀TiN和镀锌钢板进行了深度轮廓分析.放电电压、放电功率和压力对深度轮廓分析的影响进行了研究,在功率为24.5～28 W和500～1000 Pa放电压力下,可以得到每层4 μm TiN的深度分辨率,并且Ti的谱线强度相对较高.结果表明在相对较低的放电功率和压力下,深度分辩较好.在优化操作条件下,即放电电压700 V,放电电流35～40 mA,Ar压力553 Pa,可以得到Ti的深度轮廓信息,在总深度为60 μm的镀层中,以4 μm的深度分辨率,Ti的含量从28%降低到0.02%.
关键词:深度轮廓分析; 辉光放电; 原子发射光谱; 镀TiN和镀锌钢板; depth profile; glow discharge atomic emission spectrometry; TiN and zinc coating steel sheet;
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