热处理温度对Pt-WO3薄膜结构和氢敏性能的影响

范瑛¹，侯长军²，范小花³，唐一科²

(1.中国工程物理研究院结构力学研究所,四川绵阳,621000;
2.重庆大学,重庆,400030;
3.重庆科技学院安全工程学院,重庆,400042)

摘要:以钨粉和双氧水为主要原料,采用溶胶-凝胶法及旋转涂膜技术在K9玻璃上制备了WO3纳米薄膜,然后用磁控溅射法在该WO3薄膜表面溅射掺杂了Pt作催化剂.将此Pt-WO3薄膜分别在100～500℃的氮气环境中进行热处理,用XRD,AFM,分光光度计等观察了薄膜的结构和表面形貌,分析了薄膜的微观结构及热处理温度和催化剂含量对薄膜的结构和氢敏性能的影响.结果表明,薄膜经400℃以下热处理后是非晶态结构,表面疏松多孔,透光率较高,氢敏效果好;经400℃以上热处理后呈晶态结构,表面粗糙致密,透光率较低,氢敏效果差;催化剂Pt的含量对薄膜的氢敏效果有影响,当含量为5%(质量分数)时,Pt-WO3薄膜的氢敏感性能较好.

关键词:氢敏性能; 热处理温度; Pt-WO3薄膜; 结构;

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