静电力驱动的液滴数字传输芯片
来源期刊：功能材料与器件学报2010年第2期
论文作者：刘翔 许磊 李铁 皋华敏 王跃林 周萍 王翊
关键词：数字微流芯片; 静电力; 液滴; digital microfluidic chip; electrostatic force; droplet;
摘 要：设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
刘翔1，许磊1，李铁1，皋华敏1，王跃林1，周萍1，王翊1
(1.传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)
摘要:设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
关键词:数字微流芯片; 静电力; 液滴; digital microfluidic chip; electrostatic force; droplet;
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