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GeO2-SiO2平面波导的应用及其发展

来源期刊：材料导报2003年第4期

论文作者：姜德生李小甫李鸿辉许丕池余海湖

关键词：GeO2 GeO2-SiO2 平面波导薄膜;

摘要：综合论述了GeO2-SiO2薄膜平面波导的发展历史和前景以及在集成光学中的应用.对该系统各种制备薄膜的方法及其各自的优缺点进行了阐述.

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姜德生¹，李小甫¹，李鸿辉¹，许丕池¹，余海湖¹

(1.武汉理工大学光纤中心,武汉,430070)

摘要:综合论述了GeO2-SiO2薄膜平面波导的发展历史和前景以及在集成光学中的应用.对该系统各种制备薄膜的方法及其各自的优缺点进行了阐述.

关键词:GeO2 GeO2-SiO2 平面波导薄膜;

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