半导体硅材料厂工艺设计中的污染控制技术
来源期刊：中国有色冶金1996年第5期
论文作者：张重敏
关键词：硅;洁净技术;污染控制;设计;
摘 要：文章介绍了洁净技术与洁净室设计的主要内容，论述了洁净。艺设计与集成电路制造工艺微细化尺度趋势间的关系，着重介绍了工艺设计中的污染控制技术及当今世界实践趋势。
张重敏
北京有色冶金设计研究总院
摘 要：文章介绍了洁净技术与洁净室设计的主要内容，论述了洁净。艺设计与集成电路制造工艺微细化尺度趋势间的关系，着重介绍了工艺设计中的污染控制技术及当今世界实践趋势。
关键词：硅;洁净技术;污染控制;设计;
