BST薄膜高介电调谐率和低介电损耗的设计
来源期刊：兵器材料科学与工程2010年第4期
论文作者：蔡玉平 冯蒙丽 韩代朝
文章页码：53 - 55
关键词：铁电薄膜;介电非线性;微波移相器;
摘 要：钛酸锶钡（BST）薄膜显著的介电非线性效应归因于Ti4+偏离氧八面体中心的位移。从BST薄膜的相变行为出发,讨论影响介电性的3种因素,即组分、电极材料和薄膜厚度,以期保持BST薄膜高介电调谐率的同时,获得低介电损耗,为最大限度地提高BST微波移相器的性能提供可能。
蔡玉平，冯蒙丽，韩代朝
军械工程学院基础部
摘 要：钛酸锶钡（BST）薄膜显著的介电非线性效应归因于Ti4+偏离氧八面体中心的位移。从BST薄膜的相变行为出发,讨论影响介电性的3种因素,即组分、电极材料和薄膜厚度,以期保持BST薄膜高介电调谐率的同时,获得低介电损耗,为最大限度地提高BST微波移相器的性能提供可能。
关键词：铁电薄膜;介电非线性;微波移相器;
