前驱体温度对激光化学气相沉积YBa₂Cu₃O_7-δ超导薄膜结构及性能的影响

张琼¹，赵培¹，吴慰¹，戴武斌¹，GOTO Takashi²，徐源来³

1. 等离子体化学与新材料湖北省重点实验室(武汉工程大学)2. 东北大学金属材料研究所3. 绿色化工过程省部共建教育部重点实验室(武汉工程大学)

摘 要：采用激光化学气相沉积法在Al₂O₃基底上以49μm·h^-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa₂Cu₃O_7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响。研究表明,Ba、Cu、Y前驱体加热温度分别为603、478、459 K时制备的薄膜在经813 K高温热处理12 h后,临界温度可达83 K。

关键词：激光化学气相沉积;YBa2Cu3O_7-δ薄膜;高速沉积;