Co/Pt多层膜的调制结构对磁光性能的影响
来源期刊：贵金属2000年第2期
论文作者：李晖云 吴隽 丁易 张永俐 赵辉
关键词：Co/Pt多层膜; 调制结构; 磁光性能;
摘 要：研究了Co/Pt多层膜中,Co层厚度,Co、Pt含量比,溅射温度对多层膜磁光性能的影响.研究发现Co层厚度及Co、Pt含量比对Co/Pt多层膜的磁光性能起决定性影响,当tCo＜0.4nm,tCo/tPt=1/2时,可获得较好的综合磁光性能;适当提高溅射时基体的温度,可改善多层膜的结晶性并获得较好的调制周期结构,最终改善其磁光性能.
李晖云1，吴隽1，丁易1，张永俐1，赵辉1
(1.昆明贵金属研究所,中国,昆明,650221)
摘要:研究了Co/Pt多层膜中,Co层厚度,Co、Pt含量比,溅射温度对多层膜磁光性能的影响.研究发现Co层厚度及Co、Pt含量比对Co/Pt多层膜的磁光性能起决定性影响,当tCo＜0.4nm,tCo/tPt=1/2时,可获得较好的综合磁光性能;适当提高溅射时基体的温度,可改善多层膜的结晶性并获得较好的调制周期结构,最终改善其磁光性能.
关键词:Co/Pt多层膜; 调制结构; 磁光性能;
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