La0.5Sr0.5CoO3薄膜的制备及其湿敏性质的研究
来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)2006年第6期
论文作者：王建禄 彭巨擘 蔡毅 普朝光 张鹏翔
文章页码：22 - 24
关键词：脉冲激光溅射沉积;镧锶钴氧薄膜;湿敏电阻;
摘 要：利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在SiO2/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对薄膜湿敏电阻进行了测量.
王建禄1，彭巨擘1，蔡毅2，普朝光2，张鹏翔1
1. 昆明理工大学光电子材料研究所2. 昆明物理所
摘 要：利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在SiO2/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对薄膜湿敏电阻进行了测量.
关键词：脉冲激光溅射沉积;镧锶钴氧薄膜;湿敏电阻;
