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聚对二甲苯/SiO2薄膜应用于KDP晶体增透保护膜的制备研究

来源期刊:材料导报2005年第1期

论文作者:沈军 刘枫 秦仁喜 吴兆丰 肖轶群 吴广明

关键词:聚对二甲苯; SiO2增透膜; KDP晶体; 保护膜;

摘    要:报道了采用真空化学气相沉积法制备的聚对二甲苯薄膜和采用溶胶-凝胶技术制备的二氧化硅增透膜,通过提拉镀膜法在聚对二甲苯薄膜表面镀制SiO2增透膜得到的双层膜可应用于KDP晶体的增透保护膜.用FT-IR、紫外-近红外分光光度计对聚对二甲苯/SiO2薄膜的结构和光学性能进行了表征和测试.双层膜的透射率达到92%以上,激光损伤阈值为8J/cm2.镀有保护膜的KDP晶体在相对温度稳定的环境下放置半年多后透射率基本保持不变.

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聚对二甲苯/SiO2薄膜应用于KDP晶体增透保护膜的制备研究

沈军1,刘枫1,秦仁喜1,吴兆丰1,肖轶群1,吴广明1

(1.同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092)

摘要:报道了采用真空化学气相沉积法制备的聚对二甲苯薄膜和采用溶胶-凝胶技术制备的二氧化硅增透膜,通过提拉镀膜法在聚对二甲苯薄膜表面镀制SiO2增透膜得到的双层膜可应用于KDP晶体的增透保护膜.用FT-IR、紫外-近红外分光光度计对聚对二甲苯/SiO2薄膜的结构和光学性能进行了表征和测试.双层膜的透射率达到92%以上,激光损伤阈值为8J/cm2.镀有保护膜的KDP晶体在相对温度稳定的环境下放置半年多后透射率基本保持不变.

关键词:聚对二甲苯; SiO2增透膜; KDP晶体; 保护膜;

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