氧化锌薄膜的p型掺杂及光学和电学性质研究
来源期刊：材料科学与工艺2009年第5期
论文作者：李韫慧 张琦锋 孙晖 薛增泉 吴锦雷
文章页码：686 - 1385
关键词：ZnO薄膜;掺杂;p-n结;光致发光;
摘 要：为了实现氧化锌薄膜的p型掺杂,从而制备氧化锌同质p-n结,采用化学气相沉积法,以二水合醋酸锌为前驱,醋酸铵为氮源,在氧气氛下制备了氮掺杂的p型氧化锌薄膜.利用X射线光电子能谱和X射线衍射分析,表征了氧化锌薄膜的化学成分.通过霍尔效应测量证实了薄膜的p型导电特性.探讨了制备过程中温度、压强、源物质等条件对反应产物的影响,研究了薄膜的光学和电学特性,得到了p型氧化锌薄膜的吸收光谱和光致发光光谱,以及氧化锌p-n结的伏安特性曲线.
李韫慧1,2,3，张琦锋1，孙晖1，薛增泉1，吴锦雷1
1. 北京大学信息科学技术学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室2. 中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室3. 中国科学院研究生院
摘 要：为了实现氧化锌薄膜的p型掺杂,从而制备氧化锌同质p-n结,采用化学气相沉积法,以二水合醋酸锌为前驱,醋酸铵为氮源,在氧气氛下制备了氮掺杂的p型氧化锌薄膜.利用X射线光电子能谱和X射线衍射分析,表征了氧化锌薄膜的化学成分.通过霍尔效应测量证实了薄膜的p型导电特性.探讨了制备过程中温度、压强、源物质等条件对反应产物的影响,研究了薄膜的光学和电学特性,得到了p型氧化锌薄膜的吸收光谱和光致发光光谱,以及氧化锌p-n结的伏安特性曲线.
关键词：ZnO薄膜;掺杂;p-n结;光致发光;
