溶胶-凝胶法制备SiO₂薄膜的工艺研究

来源期刊：材料导报2010年第S2期

论文作者：李茜琪 姚雪亮 王海风

文章页码：72 - 74

关键词：溶胶-凝胶法;透过率;反射率;显微硬度;抗弯强度;

摘    要：以正硅酸乙酯为前驱体、乙醇为溶剂,通过酸催化,采用溶胶-凝胶法制备SiO₂薄膜,通过正交实验确定最佳工艺方案,并讨论影响SiO₂薄膜结构和性质的主要因素,研究了最佳配方SiO₂薄膜的表面形貌、光学性能和力学性能等。结果表明,影响光学性能的主要因素是正硅酸乙酯和水;影响显微硬度的主要因素是乙醇;膜层结构为非晶态;薄膜具有增透效果并可提高试样的抗弯强度。