磁控溅射制备Al₂O₃薄膜及耐蚀性能研究

来源期刊：功能材料2020年第2期

论文作者：吴坤尧 刘强 鲁媛媛 孙乐

文章页码：2209 - 2213

关键词：磁控溅射;Al₂O₃薄膜;耐蚀性;

摘    要：采用直流磁控溅射镀膜技术以高纯铝为靶材,氧气为反应气体,在304不锈钢基底上以不同溅射功率（60,90,120,150和180 W）沉积Al₂O₃薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜晶体结构和表面形貌进行分析表征,使用电化学工作站考察Al₂O₃薄膜的耐蚀性能。结果表明:所制备的Al₂O₃薄膜表面平整、均匀致密,并且在（217）面具有较好的择优取向;溅射功率对薄膜耐蚀性有较大影响,随溅射功率增加,耐蚀性先增强后减弱,在功率为150 W时所制备薄膜的耐蚀性能最优。