ITO导电薄膜的用途和制备方法
来源期刊：粉末冶金材料科学与工程1997年第1期
论文作者：张树高 黄伯云 方勋华
文章页码：28 - 31
关键词：ITO薄膜;应用;制备工艺;
摘 要：本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。
张树高，黄伯云，方勋华
摘 要：本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。
关键词：ITO薄膜;应用;制备工艺;
