简介概要

TiAlN硬质薄膜/涂层材料的研究进展

来源期刊：硬质合金2008年第3期

论文作者：吴中亮王目孔康勃马瑞新林炜

关键词：TiAlN硬质薄膜; 制备方法; 性能; 应用;

摘要：概述了TiAlN硬质薄膜,涂层材料的基本性质、应用及制备技术的发展.介绍了国内外利用磁控溅射法(MS)、空心阴极离子镀(HCD)、多弧离子镀等镀膜工艺制备删硬质薄膜材料的最新研究进展.TiAlN薄膜应用于切削加工、航空、航天和模具中的优良性能.

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吴中亮¹，王目孔¹，康勃¹，马瑞新¹，林炜¹

(1.北京科技大学,冶金与生态工程学院,北京,100083)

摘要:概述了TiAlN硬质薄膜,涂层材料的基本性质、应用及制备技术的发展.介绍了国内外利用磁控溅射法(MS)、空心阴极离子镀(HCD)、多弧离子镀等镀膜工艺制备删硬质薄膜材料的最新研究进展.TiAlN薄膜应用于切削加工、航空、航天和模具中的优良性能.

关键词:TiAlN硬质薄膜; 制备方法; 性能; 应用;

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