LED用蓝宝石衬底抛光技术进展

来源期刊：机械设计与制造2013年第4期

论文作者：卓志国 周海 徐晓明 臧跃

文章页码：249 - 506

关键词：蓝宝石衬底;抛光工艺;化学机械抛光;

摘    要：蓝宝石单晶衬底具有优秀的物理化学性质,作为LED的主要衬底材料,其晶片表面质量要求非常高,而加工工艺在很大程度上决定了表面质量。对蓝宝石衬底加工的各种工艺原理作简要介绍,如化学机械抛光、磁流变抛光、浮法抛光等,指出这些加工方法的优缺点、发展进程等。目前蓝宝石衬底的抛光质量已经达到:表面粗糙度0.1nm,平面度0.5μm。随着生产工艺的不断进步,数字化、全自动、绿色无污染的抛光工艺是未来蓝宝石衬底加工的发展方向。