膜厚对FeCoAlON薄膜的静态与动态磁性的影响

来源期刊：磁性材料及器件2017年第6期

论文作者：郑富 陈治鹏 马亚楠 周俊

文章页码：1 - 22

关键词：FeCoAlON薄膜;膜厚;条形畴结构;磁性;

摘    要：采用射频磁控溅射法在Si（100）基片上沉积了不同氮分压和不同厚度的（Fe70.6Co29.4）88.2Al11.8-ON薄膜,研究了膜厚对5%氮分压沉积的薄膜静态与动态磁性的影响。当FeCoAlON薄膜的厚度较小时,薄膜表现出面内单轴磁各向异性,当薄膜厚度增加到210 nm时,薄膜出现了条形畴。动态磁性研究显示,对于面内单轴磁各向异性以及条形畴结构的FeCoAlON薄膜,都表现出优异的高频响应。特别地,对于具有条形畴结构的FeCoAlON薄膜,其磁谱曲线表现为多峰共振的特点。