气敏材料及其传感器选择性研究进展
来源期刊：材料导报2005年第6期
论文作者：贺蕴秋 张银洪
关键词：半导体; 气敏传感器; 选择性; 掺杂; 纳米管;
摘 要：选择性是评价气敏传感器使用价值的重要性能指标.综述了近年来国内外气敏材料及其传感器选择性方面的研究进展,从气敏机理详细分析了影响传感器选择性的因素,重点介绍了提高气敏选择性的新技术、新方法,如掺杂、气体过滤膜、纳米技术、制备复合型气敏元件等,详细探讨了其工作机理,并简要介绍了气敏选择性未来的研究趋势.
贺蕴秋1，张银洪1
(1.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092)
摘要:选择性是评价气敏传感器使用价值的重要性能指标.综述了近年来国内外气敏材料及其传感器选择性方面的研究进展,从气敏机理详细分析了影响传感器选择性的因素,重点介绍了提高气敏选择性的新技术、新方法,如掺杂、气体过滤膜、纳米技术、制备复合型气敏元件等,详细探讨了其工作机理,并简要介绍了气敏选择性未来的研究趋势.
关键词:半导体; 气敏传感器; 选择性; 掺杂; 纳米管;
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