基于AutoCAD的掩膜用微齿轮渐开线齿廓拟合

来源期刊：机械设计与制造2011年第12期

论文作者：王红军 王道林 徐锋

文章页码：90 - 92

关键词：微齿轮;渐开线拟合;掩膜;

摘    要：应用微电子行业的深硅刻蚀技术ICP制备微齿轮过程中,设计微齿轮掩膜板时,为了将AutoCAD等软件设计的微齿轮渐开线轮廓正确导入LinkCAD等光刻掩膜文件格式转换软件中,需将渐开线齿廓非样条化。针对分度圆直径1mm的微齿轮渐开线齿廓按等基圆中心角的方式分别进行8、12、20分段,并分别用直线和圆弧段拟合。实验证明,微齿轮渐开线应用8分段并用圆弧拟合能获得相对光顺和精度最高的拟合曲线,能满足微齿轮齿廓要求。采用的方法为其他类似曲线段的拟合提供了有价值的参考。