红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究

魏俊俊¹，吕反修¹，高旭辉¹，李成明¹，余怀之²，陈广超¹

(1.U;
2.北京有色金属研究总院,国晶辉红外科技有限公司,北京,100088)

摘要:采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜2在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核.本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍.此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价.

关键词:硫化锌(ZnS); 金刚石膜; 陶瓷过渡层; 诱导形核; 微波等离子体CVD;

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