一种半导体控温装置的研制及其在电感耦合等离子体质谱仪上的应用

来源期刊：冶金分析2019年第6期

论文作者：李明 李凯 唐兴斌 任立志

文章页码：60 - 64

关键词：半导体控温;电感耦合等离子体质谱仪;雾室温度;模拟数字转换器(ADC);

摘    要：电感耦合等离子体质谱仪具有高灵敏的元素分析能力,但也容易受多原子离子和氧化物离子的干扰。实验介绍了一种基于ARM数字控制的半导体控温装置,该装置利用高精度温度传感器和模拟数字转换器（ADC）实时采集温度,由ARM处理器实时控制半导体控温装置输出制冷量,实现了对雾室温度的闭环调节和精确控制,温度调节范围为+20～-5℃,精度为±0.1℃。通过实验表明,该系统设计可靠、稳定,对改善仪器性能指标,比如:降低氧化物的产率（以CeO/Ce为代表,该比率在加半导体制冷后降低,氧化物离子产率由10%降至6%左右）、提高信号强度和稳定性等有积极作用,可以满足质谱仪性能提升的需要。