类金刚石碳膜的热稳定性
来源期刊:材料科学与工艺2000年第4期
论文作者:马南 夏立芳 李光
关键词:类金刚石碳膜; 热稳定性; 退火;
摘 要:总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化,评述了国内外的最新研究进展,并指出了有待进一步研究的问题.
马南1,夏立芳2,李光2
(1.双太电子实业有限公司,黑龙江哈尔滨 150020;
2.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨 150001)
摘要:总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化,评述了国内外的最新研究进展,并指出了有待进一步研究的问题.
关键词:类金刚石碳膜; 热稳定性; 退火;
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