CVT法提纯钛的热力学分析
来源期刊:有色金属(冶炼部分)2008年第6期
论文作者:杨善志 袁继维
关键词:CVT法; 热力学; 纯钛; 沉积速率;
摘 要:对CVT法制备纯钛的反应热力学及反应体系中卤化物蒸汽压对钛沉积速率影响进行了分析,得出了最佳卤化反应源区和沉积区温度控制范围,实验得出了Ti最大沉积速率时的钛卤化物蒸汽压.
杨善志1,袁继维2
(1.贵州大学,贵阳,550003;
2.遵义钛业股份有限公司,遵义,563000)
摘要:对CVT法制备纯钛的反应热力学及反应体系中卤化物蒸汽压对钛沉积速率影响进行了分析,得出了最佳卤化反应源区和沉积区温度控制范围,实验得出了Ti最大沉积速率时的钛卤化物蒸汽压.
关键词:CVT法; 热力学; 纯钛; 沉积速率;
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