抛光石英玻璃亚表面波纹研究
来源期刊：材料导报2014年第S1期
论文作者：杜秀蓉 宋学富 孙元成 张晓强
文章页码：240 - 491
关键词：石英玻璃;亚表面波纹;切割;研磨;抛光;
摘 要：抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后,表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径,对比切、研、抛加工工艺和表面形貌,确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段,并且波纹随后续加工趋于平缓,最终掩盖在抛光层之下。
杜秀蓉，宋学富，孙元成，张晓强
中国建筑材料科学研究总院
摘 要：抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后,表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径,对比切、研、抛加工工艺和表面形貌,确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段,并且波纹随后续加工趋于平缓,最终掩盖在抛光层之下。
关键词：石英玻璃;亚表面波纹;切割;研磨;抛光;
