乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为
来源期刊:稀有金属材料与工程2006年第1期
论文作者:刘伟平 侯英 普绍平 高文桂 闫革新 梁广
关键词:化学气相沉积; 乙酰丙酮钯; 热分解行为;
摘 要:采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为.通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气.
刘伟平1,侯英2,普绍平1,高文桂1,闫革新1,梁广1
(1.昆明贵金属研究所,国家贵金属材料工程研究中心,云南,昆明,650221;
2.云南瑞升科技有限公司,云南,昆明,650106)
摘要:采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯[Pd(acac)2]的热分解行为.通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气.
关键词:化学气相沉积; 乙酰丙酮钯; 热分解行为;
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