Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金薄膜压磁效应的特征及负压磁效应（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2020年第4期
论文作者：陈杰 朱正吼 林前英 白茹茹 赵辉
文章页码：1204 - 1210
关键词：非晶合金薄膜;压磁效应;内应力;
摘 要：以Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金薄膜作为研究对象,研究了其压磁效应的特征及其负压磁效应现象。结果表明,淬态下的Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金薄膜在0～0.66 kPa压力带具有显著的正压磁效应,随着压应力增大,薄膜电感值下降。当压应力σ=0.66 kPa时,压磁效应值SI达到5.5%;环境温度对压磁效应灵敏度有影响,在20～30℃范围内,压磁效应和灵敏度稳定性最好,随着环境温度升高,薄膜灵敏度和压磁效应值均降低;薄膜经过退火处理后,薄膜内应力状态会发生变化,当退火温度≥350℃时,薄膜的压磁效应类型由"正压磁效应"转变为"负压磁效应",且随着薄膜中内应力降低,|SI|值下降,且薄膜的压磁效应受环境温度影响减小。当退火温度为555℃,σ=0.44 kPa时,|SI|值仅为0.59%;当退火温度达到薄膜的晶化温度时,薄膜的压磁效应受环境温度影响最小。
陈杰1，朱正吼1，林前英1，白茹茹1，赵辉2
1. 南昌大学材料科学与工程学院2. 南昌大学空间与技术研究院
摘 要：以Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金薄膜作为研究对象,研究了其压磁效应的特征及其负压磁效应现象。结果表明,淬态下的Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶合金薄膜在0～0.66 kPa压力带具有显著的正压磁效应,随着压应力增大,薄膜电感值下降。当压应力σ=0.66 kPa时,压磁效应值SI达到5.5%;环境温度对压磁效应灵敏度有影响,在20～30℃范围内,压磁效应和灵敏度稳定性最好,随着环境温度升高,薄膜灵敏度和压磁效应值均降低;薄膜经过退火处理后,薄膜内应力状态会发生变化,当退火温度≥350℃时,薄膜的压磁效应类型由"正压磁效应"转变为"负压磁效应",且随着薄膜中内应力降低,|SI|值下降,且薄膜的压磁效应受环境温度影响减小。当退火温度为555℃,σ=0.44 kPa时,|SI|值仅为0.59%;当退火温度达到薄膜的晶化温度时,薄膜的压磁效应受环境温度影响最小。
关键词：非晶合金薄膜;压磁效应;内应力;
