化学气相沉积钽的动力学
来源期刊:工程科学学报1983年第4期
论文作者:张长鑫
文章页码:106 - 111
摘 要:应用绝对反应速度理论和统计力学到化学气相沉积(CVD)钽上,建立了反应速度模型。实验表明,测定值与计算值间吻合较好。证实了用绝对反应速度理论建立的速度模型的正确性,而且证实了化学气相沉积钽的速度控制环节为表面化学反应。
张长鑫
北京钢铁学院稀有金属物化教研室
摘 要:应用绝对反应速度理论和统计力学到化学气相沉积(CVD)钽上,建立了反应速度模型。实验表明,测定值与计算值间吻合较好。证实了用绝对反应速度理论建立的速度模型的正确性,而且证实了化学气相沉积钽的速度控制环节为表面化学反应。
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