键合参数对AgAuPdRu键合线键合性能影响研究

来源期刊：贵金属2019年第2期

论文作者：范俊玲 朱丽霞 曹军 姚亚昔

文章页码：59 - 131

关键词：银基键合线;无空气焊球(FAB);烧球时间;烧球电流;键合功率;键合压力;

摘    要：利用扫描电镜研究φ0.025mm的Ag-0.8Au-0.3Pd-0.03Ru银基键合线不同键合参数对无空气焊球（free air ball,FAB）形状及球焊点、楔焊点形貌的影响,结果表明,烧球电流或者烧球时间其中之一不变时,FAB直径随着烧球时间（烧球电流一定）和烧球电流（烧球时间一定）的增加而增大,烧球电流为30m A、烧球时间为700μs时,键合线FAB呈标准圆球形;键合压力一定时,键合线球焊点焊盘直径随着超声功率的增大而显著增加,键合功率为80mW、键合压力0.30N时,球焊点具有较好的微观形貌;键合压力为0.25 N,超声功率为80 mW时,楔焊点具有规则的鱼尾形貌,并具有较好的连接强度。