退火处理对铟锡氧化物粉末的影响

来源期刊：材料导报2011年第18期

论文作者：刘喜波 陈派明 杨硕 王政红 张秀勤

文章页码：30 - 34

关键词：铟锡氧化物(ITO);纳米粉末;退火;烧结;

摘    要：对两种不同比表面积(BET)的铟锡氧化物(ITO)纳米粉末进行退火处理,研究和比较了温度对两种粉末微观组织和结构的影响,并对这两种粉末烧结的靶材进行了比较。结果表明,在800～1500℃进行不同温度的退火处理后,在1200℃以上,两种比表面积的ITO粉末粒径增长显著,颗粒之间出现了相互合并和结合长大现象,而高BET粉末的粒径增加幅度比低BET粉末的更大;在1525℃烧结后,用高BET粉末烧成的靶材的晶粒和气孔尺寸更大,气孔数量也更多。