用于微机电系统的SiO2/Si3N4驻极体的制备及电荷稳定性

张锦文¹，温中泉²，肖慧明³，陈钢进³

(1.北京大学,微电子学研究院,北京,100871;
2.重庆大学,微系统研究中心,重庆,400044;
3.浙江科技学院,功能材料研究所,浙江,杭州,310012)

摘要:驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键.用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/ Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响.结果表明,电晕充电后SiO2/ Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小.

关键词:驻极体; 微型发电机; SiO2/Si3N4双层膜; 电荷稳定性; 微器件加工;

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