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钛合金基体上TiAlN膜层的退除工艺

来源期刊:材料保护2018年第7期

论文作者:付新广 王战东 王彦峰 王毅飞

文章页码:72 - 75

关键词:退膜液;TiAlN膜;钛合金;

摘    要:目前鲜见钛合金基体上TiAlN膜层退除工艺的研究报道。利用电弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子比1∶1)合金靶在钛合金TC4基体上镀覆TiAlN膜层。使用亚硝酸盐、氢氧化钠配制退膜液,采用正交试验优选了退膜液各成分的浓度和退膜温度,确定了退膜液各成分的浓度及最佳退膜工艺,并比较了钛合金TC4基体及退膜后基体的表面形貌、成分、粗糙度、尺寸和结合力的变化。结果表明:以优选工艺退膜后基体表面光亮如初,形貌、成分、粗糙度变化不大,表面会产生1μm左右的轻微腐蚀,结合力略有提高。该退膜液成分简单、易于控制,适用于批量生产。

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钛合金基体上TiAlN膜层的退除工艺

付新广1,王战东1,王彦峰2,王毅飞2

1. 航空工业陕西宝成航空仪表有限责任公司2. 西北有色金属研究院

摘 要:目前鲜见钛合金基体上TiAlN膜层退除工艺的研究报道。利用电弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子比1∶1)合金靶在钛合金TC4基体上镀覆TiAlN膜层。使用亚硝酸盐、氢氧化钠配制退膜液,采用正交试验优选了退膜液各成分的浓度和退膜温度,确定了退膜液各成分的浓度及最佳退膜工艺,并比较了钛合金TC4基体及退膜后基体的表面形貌、成分、粗糙度、尺寸和结合力的变化。结果表明:以优选工艺退膜后基体表面光亮如初,形貌、成分、粗糙度变化不大,表面会产生1μm左右的轻微腐蚀,结合力略有提高。该退膜液成分简单、易于控制,适用于批量生产。

关键词:退膜液;TiAlN膜;钛合金;

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