ZnO薄膜的择优取向生长
来源期刊：材料导报2003年增刊第1期
论文作者：王万录 马勇 廖克俊
关键词：ZnO薄膜; c轴取向; 生长方法;
摘 要：ZnO薄膜是一种具有广泛用途的材料,近来成为了研究的热点.高度c轴择优取向是优质ZnO薄膜的重要特点.在已开发的众多生长技术中,磁控溅射、金属有机物气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、电子束反应蒸镀法是生长出高度c轴择优取向优质薄膜的主要方法.介绍了这些方法及其研究进展,同时介绍了目前ZnO薄膜主要研究方面.
王万录1，马勇1，廖克俊1
(1.重庆大学数理学院,重庆,400044;
2.重庆师范学院物理系,重庆,400047)
摘要:ZnO薄膜是一种具有广泛用途的材料,近来成为了研究的热点.高度c轴择优取向是优质ZnO薄膜的重要特点.在已开发的众多生长技术中,磁控溅射、金属有机物气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、电子束反应蒸镀法是生长出高度c轴择优取向优质薄膜的主要方法.介绍了这些方法及其研究进展,同时介绍了目前ZnO薄膜主要研究方面.
关键词:ZnO薄膜; c轴取向; 生长方法;
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