Co₂Z软磁铁氧体薄膜的磁性能

来源期刊：磁性材料及器件2011年第3期

论文作者：郝思坤 黎伟 孟卫民 白建民 杨正 魏福林

文章页码：13 - 16

关键词：Ba3Co2Fe24O41;铁氧体;薄膜;溅射;热处理;磁性能;

摘    要：首先用球磨法制备了BaxCo2Fe24O41铁氧体粉料,烧结后制得块体材料,然后以其为靶材,用射频磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100nm的铁氧体薄膜。实验表明,沉积态的薄膜为非晶态结构,经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。通过对热处理温度和氧分压的调整,制备出性能较好的Ba3Co2Fe24O41薄膜,饱和磁化强度为46.8A.m2/kg,矫顽力为7.3 kA/m。